管式PECVD上下料机_工厂自动化方案_解决方案_浙江南宫NG28科技股份有限公司

南宫NG28

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方案概述

管式PECVD上下料机是将硅片从承载盒中自动装载至PECVD石墨舟或从PECVD石墨舟中自动装载硅片至硅片承载盒中

南宫NG28方案

  • 碎片率降低

    重复精度定位精准,与传统装卸片相比,大幅度降低碎片率
  • 高重合精度

    高速以太网 高响应定位,动作过程中与硅片接触搬运过程中均轻柔动作,以减少碎片
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