
方案概述
南宫NG28方案

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装卸一体
将花篮里硅片搬运输送上料到制绒/刻蚀工艺主机;将经刻蚀或制绒工艺后的硅片转移装入到硅片花篮
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高可靠性
通过X3EB EtherCat伺服,运行动作高速轻柔,实现高精度定位
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